otsukael顯微鏡分光膜厚儀紫外光譜儀

otsukael顯微鏡分光膜厚儀OPTM的介紹

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。

產(chǎn)品型號：OPTM
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2023-04-14
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產(chǎn)品信息

特征

膜厚測量范圍 1 nm 至 92 μm（SiO ₂換算）
薄膜厚度值的高重復(fù)性
每點1秒以內(nèi)的高速測量
圖案可瞄準(zhǔn)微小點（最小Φ3μm）
適用于圖案化晶圓的膜厚測繪
可以獲取用于圖案對齊的圖像

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。

特征

可在紫外-可見（300 至 800 nm）波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性

測量項目

橢圓參數(shù)（tanψ，cosΔ）測量
光學(xué)常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
膜厚分析

測量對象

半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO₂，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃，SiN_xO_y，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)
化合物半導(dǎo)體
Al_xGa_(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導(dǎo)用薄膜，磁気ヘッド薄膜
光學(xué)薄膜
TiO₂，SiO₂，反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価

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