otsukael分光橢偏儀旋轉(zhuǎn)分析器膜厚計紫外光譜儀

otsukael分光橢偏儀旋轉(zhuǎn)分析器膜厚計FE-5000/5000S的介紹

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。

產(chǎn)品型號：FE-5000/5000S
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2023-04-14
訪問量：1069

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otsukael分光橢偏儀旋轉(zhuǎn)分析器膜厚計FE-5000/5000S的介紹

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。

特征

可在紫外-可見（300 至 800 nm）波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性

測量項目

橢圓參數(shù)（tanψ，cosΔ）測量
光學(xué)常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
膜厚分析

測量對象

半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO₂，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃，SiN_xO_y，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)
化合物半導(dǎo)體
Al_xGa_(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導(dǎo)用薄膜，磁気ヘッド薄膜
光學(xué)薄膜
TiO₂，SiO₂，反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価

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