Avantes 適用于半導(dǎo)體應(yīng)用 AvaSpec-ULS2048CL-EVO 光譜儀

更新時(shí)間：2024-03-31

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Avantes 適用于半導(dǎo)體應(yīng)用 AvaSpec-ULS2048CL-EVO 光譜儀

近實(shí)時(shí)分析

半導(dǎo)體行業(yè)可以在其工藝的各個(gè)階段從光譜測(cè)量中獲得顯著

的好處。基于光纖的光譜儀為行業(yè)提供了巨大的價(jià)值，因?yàn)?/span>

它們能夠促進(jìn)加工環(huán)境中的原位測(cè)量和近實(shí)時(shí)分析。

Avantes 適用于半導(dǎo)體應(yīng)用，例如等離子體離子蝕刻、離子

束蝕刻、光刻膠剝離和化學(xué)/機(jī)械拋光的終點(diǎn)檢測(cè)。儀器配置

也已部署在薄膜計(jì)量（在線和離線）和等離子體診斷環(huán)境中。

我們 EVO 系列的另一位成員：AvaSpec-ULS2048CL-EVO。

該光譜儀采用 CMOS 代替?zhèn)鹘y(tǒng)的 CCD 技術(shù)，完的全是最的新的，

并為下一個(gè)十年做好了準(zhǔn)備。

CCD 探測(cè)器在光譜儀領(lǐng)域的主導(dǎo)地位正在減弱，CMOS 等新

技術(shù)已經(jīng)發(fā)展并成為合適的替代品。AvaSpec-ULS2048CL-E

VO 為您提供這項(xiàng)最的新的技術(shù)，確保未來(lái)幾年的光譜儀平臺(tái)。

與我們最新的 AS-7010 電子器件相結(jié)合，AvaSpec-ULS2048

CL-EVO 為您提供了一款多功能設(shè)備，包括速度比 USB2 高十

倍的 USB3.0 通信，以及提供千兆以太網(wǎng)以集成到您公司網(wǎng)絡(luò)

中的第二個(gè)通信端口以及遠(yuǎn)距離通信的可能性，而且價(jià)格實(shí)惠。

除了高速通信選項(xiàng)外，EVO 系列光譜儀還提供快速微處理器和

50 倍以上的內(nèi)存容量，可以幫助您在機(jī)上存儲(chǔ)更多光譜并實(shí)現(xiàn)

更多功能。

選項(xiàng)包括用于增強(qiáng) 200-1100 nm 范圍內(nèi)靈敏度的探測(cè)器收集透

鏡和用于減少二階效應(yīng)的階次排序?yàn)V波器。此外，AvaSpec-20

48CL 還提供各種狹縫尺寸、光柵和光纖入口連接器。

它配有 AvaSoft-Basic 軟件、USB 電纜和內(nèi)容豐富的手冊(cè)。

AvaSpec-ULS2048CL-EVO 還可作為 OEM 裝置、臺(tái)式或機(jī)架

安裝版本提供。

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