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2024-09-04 日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1概述:該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理。可以進行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。
 產品型號:UV-1
產品型號:UV-1 廠商性質:經銷商
廠商性質:經銷商 更新時間:2024-09-04
更新時間:2024-09-04 訪  問  量:497
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日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理。可以進行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。
特征:
-由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,因此可以實現高效清潔。
-離子或電子不會對元件造成損壞。
-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備。
-由于大氣壓處理,不需要真空系統。
日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理。可以進行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。
特征:
-由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,因此可以實現高效清潔。
-離子或電子不會對元件造成損壞。
-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備。
-由于大氣壓處理,不需要真空系統。
