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brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性,為高溫氣體測量和控制提供了的性能,具有多種選擇,允許大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩定的傳感器,其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。特點高泄漏完整性(小
 產品型號:5850EMH / 5851EMH
產品型號:5850EMH / 5851EMH 廠商性質:經銷商
廠商性質:經銷商 更新時間:2023-04-21
更新時間:2023-04-21 訪  問  量:856
訪  問  量:856 立即咨詢
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| 品牌 | 其他品牌 | 類型 | 其他 | 
|---|---|---|---|
| 測量范圍 | 12m3/h | 
brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹
brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹
5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性,為高溫氣體測量和控制提供了的性能,具有多種選擇,允許最大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩定的傳感器,其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。
高泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
寬流速范圍(0.003 - 100 slpm)
高純度 VAR 316L 不銹鋼
無磨粒
氦泄漏檢查端口
常閉閥(可選常開閥)
電致動閥復位
低命令流量斷流
TTL 兼容"關閥"功能
穩定、可靠的產品平臺
高流量,高達 100 lpm(N2 當量)
全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修
光纖制造——MCVD,OVD,AVD
水汽流量控制
| 5850EMH | 5851EMH | |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) | 10 - 100 slm (N2 equivalent) | 
| 精度 | ±1% FS | ±1% FS | 
| 重復性 | < ±0.25% of SP | < ±0.25% SP | 
| 響應時間-常閉 | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) | 
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc |