ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀

ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable
UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用特的測(cè)量方式，實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。

產(chǎn)品型號(hào)：UNECS?Portable
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2023-04-11
訪問(wèn) 量：1084

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ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable

UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用特的測(cè)量方式，實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括特的便攜式，自動(dòng)式和對(duì)應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
UNECS-Portable，測(cè)量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊，是易于攜帶的便攜式類型。
可用于真空設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收試驗(yàn)，可以通過(guò)分離樣品臺(tái)直接放在樣品上進(jìn)行大尺寸樣品的測(cè)量。

特點(diǎn)

高速測(cè)定：
獨(dú)的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。
適用于可見(jiàn)光譜：
波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型（530nm至750nm）和可見(jiàn)光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛，包括如獨(dú)的便攜類型，手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測(cè)量

規(guī)格

波長(zhǎng)范圍		530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（選擇）
點(diǎn)徑		Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度		70o固定
膜厚再現(xiàn)性		1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范圍		1nm ～ 2μｍ
測(cè)量時(shí)間		受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平臺(tái)		固定類型（Φ150mm以下、可拆卸）
控制PC		筆記本類型（帶操作/分析軟件）
機(jī)器構(gòu)成		測(cè)量本體（帶固定臺(tái)）、控制器BOX、光源單元操作PC（筆記本型）、使用說(shuō)明書(shū)（CD）

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