Toho-Tec NanoSpec6500系列光學(xué)膜厚計(jì)

更新時(shí)間：2026-04-14

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Toho-Tec NanoSpec6500系列光學(xué)膜厚計(jì)

產(chǎn)品概述

NanoSpec6500系列是Toho-Tec從Nanometrics公司2005年起承接技術(shù)轉(zhuǎn)移并制造銷售的FPD（平板顯示）專用光學(xué)膜厚測(cè)量設(shè)備。該系列在全球主要液晶生產(chǎn)工廠擁有超過(guò)100臺(tái)的導(dǎo)入實(shí)績(jī)，是FPD行業(yè)膜厚測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

核心測(cè)量原理

光干涉反射率測(cè)量法

向樣品垂直照射白色光/紫外線
檢測(cè)膜上下界面反射光的干涉光譜
通過(guò)分析光譜強(qiáng)度分布計(jì)算膜厚值

光譜橢偏儀（SE）擴(kuò)展

測(cè)量入射光與反射光的偏振光變化量
可同時(shí)計(jì)算光學(xué)常數(shù)（折射率n和消光系數(shù)k）和膜厚
適用于更廣泛的膜質(zhì)評(píng)估

產(chǎn)品系列與規(guī)格對(duì)比

物鏡配置與光斑尺寸

發(fā).png

軟件功能特點(diǎn)

NanoSpec軟件

用戶友好的操作界面

支持各種Recipe設(shè)定、測(cè)量參數(shù)設(shè)定、數(shù)據(jù)管理

可選功能擴(kuò)展： sheet resistance測(cè)量、接觸角測(cè)量、段差測(cè)量

膜厚分布顯示

從測(cè)量數(shù)據(jù)生成膜厚分布圖

面內(nèi)狀態(tài)可視化，膜厚差異以色階顯示

3D Mapping

從測(cè)量數(shù)據(jù)創(chuàng)建3D立體圖像

支持360度旋轉(zhuǎn)查看

可確認(rèn)任意點(diǎn)的高度信息

抓抓.png

Toho-Tec定制服務(wù)

全流程自主制造：從設(shè)計(jì)到制造、電氣設(shè)計(jì)、CIM通信設(shè)計(jì)均在自社完成

靈活定制：可根據(jù)客戶需求進(jìn)行硬件和軟件定制

專業(yè)應(yīng)用支持：經(jīng)驗(yàn)豐富的應(yīng)用工程師提供高精度Recipe作成和驗(yàn)證服務(wù)

應(yīng)用領(lǐng)域

FPD/LCD生產(chǎn)線：TFT-LCD、OLED的各層薄膜厚度監(jiān)控

半導(dǎo)體制造：鈍化膜、柵極絕緣膜測(cè)量

LED制造：外延層厚度控制

太陽(yáng)能電池：透明導(dǎo)電膜、減反射膜測(cè)量

材料研究：光學(xué)常數(shù)測(cè)定、新材料特性評(píng)估

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Toho-Tec NanoSpec6500系列 光學(xué)膜厚計(jì)

Toho-Tec NanoSpec6500系列 光學(xué)膜厚計(jì)

產(chǎn)品概述

核心測(cè)量原理

產(chǎn)品系列與規(guī)格對(duì)比

物鏡配置與光斑尺寸

Toho-Tec NanoSpec6500系列光學(xué)膜厚計(jì)

Toho-Tec NanoSpec6500系列光學(xué)膜厚計(jì)