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更新時間：2026-02-12 
瀏覽次數(shù)：10德國 SONOSYS® 雙噴嘴兆聲波清洗系統(tǒng)，專為單晶圓、掩膜、LCD 基板及 MEMS 等精密部件設(shè)計。采用多頻率組合技術(shù)（1MHz+2MHz/1MHz+3MHz/2MHz+3MHz/2MHz+4MHz），每束 35W 能量聚焦于 2×4mm 微小區(qū)域，實現(xiàn)高效非接觸式清洗，避免機械損傷，潔凈度可達優(yōu)良制造嚴苛標準。
電氣參數(shù)：輸出功率 70W（MLM 1+MLM 2），調(diào)節(jié)范圍 20%-100%；頻率覆蓋 950kHz-1.05MHz、1.95MHz-2.05MHz、2.95MHz-3.05MHz、3.95MHz-4.05MHz；電源 230VAC 50-60Hz。
機械參數(shù)：19 英寸機架 3/4U 設(shè)計，外形尺寸 28 HP（165×185×329mm），重量約 5.2kg。
運行條件：環(huán)境溫度 10℃-40℃，濕度禁止凝結(jié)水。
電氣參數(shù)：高壓輸入 2×35W，適配 1/2/3/4MHz 頻率；換能器采用特殊 PZT 壓電陶瓷；3 米屏蔽高壓電纜（Φ4.5mm PTFE 材質(zhì)），噴嘴與匹配盒電纜長 20cm（ 50cm）。
機械參數(shù)：外尺寸 74×79.8×37mm，重量約 600g；液體接口 2×1/8" NPT，最小流量 2×1.0L/min，適用溫度 20℃-60℃；噴嘴距待清洗物距離 5-20mm 可調(diào)。
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