日本Tekhne公司生產的露點儀是專門用于半導體超純氣體濕度監測的高精度儀器。在半導體制造過程中,氣體的純度和濕度控制至關重要,因為微小的濕度變化可能會對半導體器件的性能和質量產生嚴重影響。以下是關于日本Tekhne露點儀的詳細介紹:
一、產品概述
二、主要特點
高精度測量
測量范圍:能夠測量極低的露點溫度,通常在-100°C至0°C之間,適用于超純氣體的濕度監測。
測量精度:露點溫度測量精度可達±0.1°C,確保測量結果的高可靠性。
重復性:測量結果具有高重復性,確保長期穩定的監測效果。
快速響應
高穩定性
數據管理
數據記錄:設備內置數據記錄功能,可存儲大量的測量數據。
數據輸出:支持USB、LAN等多種數據輸出方式,方便用戶將數據導入計算機進行分析。
數據分析:配備專業的數據分析軟件,可對測量數據進行統計分析,生成報表。
用戶友好
三、技術參數
四、應用領域
半導體制造
電子制造
科研機構
五、操作流程
開機準備
氣體連接
將待監測的超純氣體管道連接到露點儀的進氣口。
確保氣體流量穩定,符合設備要求。
自動測量
數據輸出
設備維護
六、優勢與價值
高精度:能夠測量極低的露點溫度,確保超純氣體的濕度控制。
快速響應:快速測量和實時監測,便于及時調整氣體干燥系統。
高穩定性:先進的傳感器技術和溫度補償功能,確保設備在惡劣環境下的穩定性和可靠性。
數據管理:支持數據記錄、存儲和輸出,方便用戶進行數據分析和質量控制。
用戶友好:操作簡便,內置校準功能,確保測量精度。
七、售后服務
技術支持:提供專業的技術支持,包括設備安裝、調試、培訓和維護。
保修服務:設備提供一年有限保修服務,保修期內免費維修和更換零部件。
備件供應:提供充足的備件供應,確保設備的長期穩定運行。