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WONIK QnC 吸盤 (ESC) AW100H 熱壓粘合加熱器Multi-Zone技術

更新時間:2024-03-19      瀏覽次數:380

WONIK QnC創立于1983年,是一家專門制造和供應生產半導體晶圓所使用的石英部件

和生產半導體及顯示器所使用的陶瓷部件的復合材料零部件專業公司。

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特點與優勢

  • 客戶滿意的最的佳的品質
    • ISO 9001, 14001, 27000, 45001

    • 擁有大型三維測量儀(4000x1600)和300mm Zygo干涉儀

  • 陶瓷零部件統一生產體系
    • 擁有原料, 材料, 加工等所有陶瓷生產設備及工藝

  • 功能性零部件制造
    • ESC, AlN Heater, pBN 高溫 ESC, Pulse Heater, Wafer Table

    • 客戶定制式產品 (設計模擬, 制作, 評估)


 吸盤 (ESC)

  • ESC

  • ESC

  • 通過 Hot press 燒結生產高品質陶瓷材料

  • ESC repair 技術

  • 超精密表面形狀控制技術

ItemUnitAW100HAS250H
Color-Right grayBlack
Relative density%≥ 99.7≥ 99.0
Dielectric constant (1MHz)F/m10.511
Dielectric loss (1MHz)-2 X 10-32 X 10-3
Volume resistivityRTΩ•cm2 X 10161 X 1016
Bending strengthMPa≥ 500≥ 500
Vickers hardnessHV≥ 1800≥ 2100

熱壓粘合加熱器

  • Pulse

  • Pulse

  • 設計并制造可以快速升溫和冷卻的熱線

  • 通過控制結構制造高密度和高熱導度的
    AlN陶瓷燒結體

  • 通過超精密加工技術實現高平坦度和高平行度

PropertiesSingle-ZoneMulti-Zone
Use Temperature (℃)>400℃>400℃
Heating Rate (℃/sec)20040
Cooling Rate (℃/sec)10010
Thermal Conductivity (W/m·K)200200
Uniformity (@400℃)<3℃<10℃
Size (mm)12, 16, 2250, 60, 70, 120





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