NTM-ETA 是一款先進的高精度和可重復性高溫計,設計為作為獨立裝置運行或與 NTM-Delta
 
  發射率獨立高溫計結合使用。
 
  用于溫度計算的發射率可以直接從 NTM-Delta 或通過主機的串行通信輸入
 
  NTM-ETA 的高靈敏度和寬動態范圍允許精確測量較低的最的低的溫度
 
  NTM-ETA 基于 NTM-Delta 的最的先的進的技術,在全球擁有數千臺安裝,是一種可靠的低
 
  成本解決方案,適用于 PVD、HDP-CVD、RTP 中的原位非接觸式溫度監測和其他過程。
  特點與優勢
 
  現場、非接觸式監測
 
  實時測量
 
  高靈敏度和寬動態范圍可實現最小溫度測量
 
  占地面積小
 
  閉環控制的快速更新率(高達 3,000 Hz)
 
  先進的通信協議,包括 LAN、RS232 以及標準模擬和數字 I/O
 
  針對每個 OEM 工藝環境定制的后臺補償
 
  BIT(內置測試)
 
  提供可選光學接口,包括遠程光學接口
 
  可選嵌入式PID控制器
 
  先進、用戶友好的軟件,用于設置、校準和數據記錄