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超高壓高純度 氣體過濾器 聚四氟乙烯氣體過濾器 ST-A系列

更新時間:2024-02-23      瀏覽次數:384


ST-A系列

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特征

  • 超高純度在線氣體過濾器

  • 全氟聚合物濾芯

  • 電解拋光 316L 不銹鋼外殼

  • PTFE 元件具有卓的越的耐腐蝕性,并且對大多數高純度半導體工藝氣體具有出色的兼容性

  • 3 納米粒子過濾能力以最小的壓降保持高流動效率

  • 5Ra 電拋光表面可防止內部污染

  • 去離子水清洗后用熱氮氣烘烤,滿足半導體工藝標準

  • 100級制造、清潔和包裝環境

  • 100% 氦氣泄漏測試

購信息

  • S材料
  •  

  • TA產品系列
  •  

  • 50額定流量(SLPM)
  •  

  • 4連接尺寸
  •  

  • 虛擬機連接類型
材料產品系列額定流量(SLPM)連接尺寸連接類型
D316L不銹鋼重熔TA產品系列5050 每分鐘41/4"SW樂型
S316L不銹鋼--100100 每分鐘63/8"虛擬機MFS男型
----150150 每分鐘81/2"--


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